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嘉興科民電子設備技術有限公司是中國科學院微電子研究所與嘉興市政府共同孵化的高端裝備制造企業。由歸國微電子設備制造制造團隊及中科院頂級專家組成,主要從事原子層沉積(ALD)設備、集束型薄膜沉積系統(Cluster System)等高端半導體設備的研發和生產。經過11年的發展,目前公司已經擁有一支40人的專業團隊,年銷售額超過5000萬元。 公司運用國際先進技術,致力于包括原子層沉積技術在內的IC、LED及光伏領域設備和工藝的研究與生產。已研制成功 KMT-200A原子層沉積系統;KMP-200B原子層沉積系統、KE-320型高亮度LED圖形化襯底刻蝕系統等產品,并具有完全自主知識產權,具有國際先進水平。

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